半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

由于減薄機(jī)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達(dá)到100納米，且具有超低速度波動(dòng)性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動(dòng)器和軟件系統(tǒng)。

08月03日

半導(dǎo)體精密制造檢測(cè)方案 德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺(tái)

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)類檢測(cè)，如探針臺(tái)、對(duì)位轉(zhuǎn)臺(tái)，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，對(duì)于直線類檢測(cè)，有氣浮直線平臺(tái)。氣浮直線平臺(tái)airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。

08月02日

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺(tái)

德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng)，臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國(guó)內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一，運(yùn)動(dòng)直線精度高，速度波動(dòng)小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗(yàn)，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

[多圖] 半導(dǎo)體行業(yè)中適用的德瑪特直驅(qū)產(chǎn)品

09月01日 直驅(qū)電機(jī) 直線電機(jī) DD馬達(dá) 半導(dǎo)體

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德瑪特短行程高速應(yīng)用新產(chǎn)品直線執(zhí)行器DO系列

06月01日

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德瑪特推出新款音圈電機(jī)/薄型電機(jī)模組TH系列 實(shí)現(xiàn)超短行程的線性高精度控制

03月18日 音圈電機(jī) 薄型電機(jī)

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德瑪特?zé)o槽DD馬達(dá)，高精度無齒槽效應(yīng)

采用德瑪特?zé)o槽直驅(qū)電機(jī)技術(shù)設(shè)計(jì)，無齒槽效應(yīng)，“無”轉(zhuǎn)矩脈動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)極其平滑的速度控制。 可以實(shí)現(xiàn)高精度和高重復(fù)精度的位置控制；無框設(shè)計(jì)，高功率密度，占用空間更??；大通孔便于通過電纜、光學(xué)器件、感測(cè)技術(shù)及其他系統(tǒng)元件……

11月19日

德瑪特直驅(qū)XY加工平臺(tái)

德瑪特直驅(qū)XY加工平臺(tái)，在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，且無摩擦，可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度的快速加工。

11月19日

德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺(tái)

?德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺(tái)，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機(jī)模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)……

11月19日

德瑪特高動(dòng)態(tài)響應(yīng)直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)HD140

德瑪特直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)HD140具有高精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的特點(diǎn)，適合高加工精度、高加工速度、小角度分度需求的場(chǎng)景，高度模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)簡(jiǎn)單，穩(wěn)定性強(qiáng)。

11月10日