德瑪特音圈電機模組 多功能微動平臺

德瑪特音圈電機模組，內(nèi)有德瑪特圓柱形音圈電機和方形音圈電機，具有高速度、高響應(yīng)的有點，和適合微精密加工環(huán)境。

07月10日 音圈電機 音圈電機模組

高精度直驅(qū)三軸糾偏平臺

德瑪特小型三軸直驅(qū)糾偏臺，全直驅(qū)設(shè)計，具備尺寸小，定位精準(zhǔn)，適合半導(dǎo)體行業(yè)對位和檢測。

07月09日 糾偏臺 定位平臺 直驅(qū)平臺

德瑪特直驅(qū)AOI視覺檢測大理石三軸平臺

AOI直驅(qū)視覺檢驗大理石平臺，具備高精度、高穩(wěn)定性的特點，可進(jìn)行精準(zhǔn)對位檢測。

07月09日 大理石平臺 直驅(qū)平臺

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺

德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

德瑪特大理石龍門直驅(qū)涂布平臺

德瑪特直驅(qū)涂布平臺，采用大理石基座，穩(wěn)定性高，直線度好，雙向重復(fù)定位精度低至0.8μm，滑臺跳動精度小于4μm。

10月25日

德瑪特氣浮直線平臺

德瑪特氣浮直線平臺，主要用于精密檢測，行程2米，最大速度可達(dá)2米/秒，在長行程下依然能保持高精度，重復(fù)精度達(dá)到±0.6um，使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。例如在半導(dǎo)體行業(yè)適用于晶圓檢測；在醫(yī)療器械制造中，可以讓零部件尺寸達(dá)到非常高的精度，表面光潔度好；在航空航天領(lǐng)域，要求機床具有高速加工和高精度定位能力，以滿足輕量化和結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求。

10月25日 平臺 直驅(qū)

德瑪特直驅(qū)XY加工平臺

德瑪特直驅(qū)XY加工平臺，在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運動平臺，且無摩擦，可實現(xiàn)高速度和高加速度的快速加工。

11月19日

德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺

?德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長，維護(hù)成本低等一系列優(yōu)點……

11月19日