德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng)，臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一，運(yùn)動(dòng)直線精度高，速度波動(dòng)小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。
應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗(yàn)，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。
技術(shù)參數(shù)：
德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng)，臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一，運(yùn)動(dòng)直線精度高，速度波動(dòng)小，可達(dá)2m/s，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。
應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗(yàn)，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。
技術(shù)參數(shù)：
![[喜報(bào)] 德瑪特智能獲評(píng)國家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)](http://aitu8.cn/uploads/20240910/ac4efee8dbd4622825bd27083cc7053b.png)
