DD馬達(dá)是一種高精度、高速度、高轉(zhuǎn)矩的外轉(zhuǎn)子型直接驅(qū)動電機(jī)。它采取轉(zhuǎn)子和運(yùn)動載體直接連接的方式,中間不再用其他的過渡連接(減速機(jī)構(gòu),聯(lián)軸器等),DD馬達(dá)因輸出力矩大也稱為力矩電機(jī)。

DD馬達(dá)的優(yōu)勢負(fù)載直接與馬達(dá)轉(zhuǎn)子相連接,中間無減速機(jī)構(gòu)、聯(lián)軸器、齒輪、絲桿等中間傳動結(jié)構(gòu),這些中間機(jī)構(gòu)所產(chǎn)生的誤差是無法避免的,尤其對長時間運(yùn)動所造成的機(jī)械磨損更是無法彌補(bǔ)。DD馬達(dá)轉(zhuǎn)子直接與負(fù)載相連,因此消除了中間環(huán)節(jié)所產(chǎn)生的誤差,達(dá)到最理想的控制精度。DD馬達(dá)具有很強(qiáng)的剛性,直接與負(fù)載連接使得較強(qiáng)的剛性能夠更好地體現(xiàn)在負(fù)載上。


DD馬達(dá)適用于各種產(chǎn)業(yè)裝置機(jī)械,特別是半導(dǎo)體制造檢查裝置、液晶制造裝置,如:應(yīng)用于高i性能膠片、充電電池應(yīng)用于LED檢測系統(tǒng)手機(jī)面板貼膜機(jī)應(yīng)用于太陽能電池設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體IC測試機(jī)半導(dǎo)體劃片機(jī)應(yīng)用于LCD研磨機(jī)LCD行業(yè)彩色濾光片鍍膜機(jī)等。

DD馬達(dá)在LED晶圓紫外激光高速劃片設(shè)備,激光晶圓切割設(shè)備是專門針對LED芯片生產(chǎn)企業(yè)所研發(fā)出的一款高i端精密設(shè)備,主要應(yīng)用于以Sapphire基底的GaN晶圓的劃片切割。配備多組同軸光源,能很好地配合PSS工藝,側(cè)腐蝕工藝,以及背鍍金屬工藝和垂直結(jié)構(gòu)工藝晶園片的劃片和切割,DD馬達(dá)在此設(shè)備上功能為配合CCD進(jìn)行糾偏以及90度工位調(diào)整,主要應(yīng)用DD的高i精度0軸旋轉(zhuǎn)精度0.0001度,小體112mm*112mm66mm.